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Gas 부문

취급제품

  • ▫ 산소(Oxygen : O2)
  • ▫ 질소(Nitrogen : N2)
  • ▫ 아르곤(Argon : Ar)
  • ▫ 수소(Hydrogen : H2)
  • ▫ 탄산가스(Carbon Dioxide : CO2)
  • ▫ 아세틸렌(Acetylene : C2H2)
  • ▫ 헬륨(Helium : He)
  • ▫ 암모니아(Ammonia : NH3)
  • ▫ 아산화질소(Nitrous Oxide : N2O)
  • ▫ 고순도 가스(O2, H2)
  • ▫ 혼합가스(절단, 용접용)
  • ▫ 기타
공급방식
  • 저장탱크
    4.9톤 / 10톤 / 15톤 / 20톤 / 30톤 / 40톤 / 50톤 / 기타
운송장비
  • 탱크로리
  • 트레일러
공급규모
  • 약 130,000톤 / 연간
Packaged Delivery System
  • 공급방식
    LGC, 실린더(40리터, 47리터, 58리터, 기타)
  • 운송장비: 트레일러, 트럭

취급제품

  • ▫ 프로판(Propane : C3H8)
  • ▫ 부탄(N-Butane : C4H10)
  • ▫ 무취프로판(Propane : C3H8)
  • ▫ 프라멕스(Flamex)
  • ▫ 이소부탄(ISO Butane : C4H10)
  • ▫ 메탄(Methane : CH4)
  • ▫ 에탄(Ethane : C2H6)
  • ▫ 기타
공급방식
  • 저장탱크
    500Kg / 1.0톤 / 1.9톤 / 2.9톤 / 4.9톤 / 10톤 / 15톤 / 20톤 / 50톤 / 기타
  • 소형저장탱크, 용기(20Kg / 50Kg / 기타)
운송장비
  • 탱크로리
  • 트레일러
  • 벌크로리
  • 트럭
공급규모
  • 약 50,000톤 / 연간
기술 지원
  • 퍼지 : 퍼지공사, 기밀시험, 가스치환공사 외
  • 안전관리 대행 및 설비 안전진단
  • 가스설비 컨설팅 및 기술검토 대행

취급제품

  • 반도체 가스

  • ▫ HCI, SiHCl3, SiH2Cl2
  • ▫ CF4, C2F6, CHF3, C3F6, C4F8
  • ▫ PH3, AsH3
  • ▫ BCl3
  • ▫ Cl2
  • ▫ SF6(Sulfur Hexafluoride)
  • ▫ NH3(Ammonia)
  • ▫ HBr(Hydrogen Bromide)
  • ▫ H2S
  • ▫ STC

  • 혼합 가스

  • ▫ GeH4(Germane Mixtures)
  • ▫ B2H6(Diborane Mixtures)
  • ▫ SiH4(Silane Mixtures)
  • ▫ PH3(Phosphine Mixtures)
  • ▫ HCl

  • 전자소재 가스

  • ▫ TCS
  • ▫ DCS
  • ▫ Chemical Precusor(CVD/ALD)
  • ▫ Chemical 기초소재
기술연구소
  • 분석장비
    GC PDD, ICP-MS, 수분 분석기, 미량산소 분석기, THC 외
  • 크린룸 : 75M2

취급제품

  • ▫ 산소(Oxygen : O2)
  • ▫ 질소(Nitrogen : N2)
  • ▫ 아르곤(Argon : Ar)
  • ▫ CO(Carbon Monoxide : CO)
  • ▫ 탄산가스(Carbon Dioxide : CO2)
  • ▫ 헬륨(Helium : He)
  • ▫ 아산화질소(Nitrous Oxide : N2O)
  • ▫ 수술용 : 초고압 He, 초고압 Ar
  • ▫ 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser Gas)
  • ▫ 심폐기능 측정 및 호흡용 가스
  • ▫ 소독용가스
  • ▫ 기타

의료용 가스

의료용 가스

취급제품

  • 표준가스, 다성분 혼합가스(초정밀 중량법)

  • ▫ 온실가스 측정용
  • ▫ 환경 측정용
  • ▫ Laser 측정용(의료분야, 반도체분야)
  • ▫ 공정 측정용

  • 분석 서비스

  • ▫ FT-IR
  • ▫ GC/MSD
  • ▫ GC/TCD/FID-Methanator
  • ▫ GC/FID
  • ▫ GC/PDD
  • ▫ ICP-OES
  • ▫ THC Analyzer
  • ▫ Trace Oxygen Analyzer
  • ▫ Moisture Analyzer
  • ▫ Ultra-Precision Balance :
    Cap. 26kg, Readability 1mg

차별화 생산시스템

차별화 생산시스템

제품 분석시스템

제품 분석시스템

MS머트리얼즈
구 분 성 분 용기규격 용기재질 밸브규격 충전조건 품질분석
초고순도
산소(H805)
Oxygen 99.999%(min)
Moisture    <3ppm
T.H.C           <0.1ppm
Nitrogen     <2.5ppm
47L Mn Steel 표준형
Pressure Seal
Ni Coated
W-23-14-R
120kg/cm2
@35℃
Moisture Analyzer
GC-PDD
초고순도
수소(H106)
Hydrogen 99.9995%(min)
Moisture     <2.5ppm
T.H.C         <0.1ppm
Nitrogen     <2.0ppm
47L Mn Steel 표준형
Pressure Seal
Ni Coated
W-22-14-L
120kg/cm2
@35℃
Moisture Analyzer
Oxygen Analyzer
GC-PDD